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■直接的な殺害
ホロコーストのシンボルとして扱われるガス殺であるが、その割合は圧倒的なものではない。マイダネク強制収容所では7つのガス室をもうけ、ガス車をも利用したガス殺を行ったが、これが行われたのは一年ほどである。ガス殺導入後でも銃殺はかなりの割合を占めており、1943年11月3日にはマイダネクで機関銃によって1万7千名のユダヤ人が殺害されている。

アウシュヴィッツ=ビルケナウ強制収容所では1941年9月3日にソ連軍捕虜とポーランド人にたいしてツィクロンBによる殺害が行われた。これは害虫駆除のために用いたストックが十分に存在していたためであり、停止までアウシュヴィッツではツィクロンBが用いられ続けた。しかしラインハルト作戦で設置された三つの絶滅収容所では一酸化炭素が用いられている。

■絶滅収容所
ドイツ国内には、すでに戦前からダッハウやザクセンハウゼンなどの強制収容所が存在したが、それらの収容所は当初は比較的小規模であり、政治的敵性分子や西側の捕虜などが比較的多く収容されていた。のちに収容者たちの労働によって拡張され、ユダヤ人だけでなく、ロマ人その他の人々が雑多に収容され、収容者はのべ20万人を超えることになる。
特にダッハウは薬草農園労働と生体医学実験で有名である。同地には43年に「バラックX」と呼ばれる死体焼却炉付きガス室が建設されたが、完成せず実用には至らなかったと言われる。
しかし、このことはダッハウにおいてガス処分がなかったことを意味するのみで、墓地その他の調査によれば、実験による感染・郊外での銃殺などにより、労働強制収容所であったはずのダッハウから数万人の組織的大量虐殺(ホロコースト、ただしユダヤ人以外をも多く含む)が始まった事実は揺るがない。

■絶滅収容所
絶滅を目的とした収容所としては、1942年からアウシュヴィッツ=ビルケナウ強制収容所・トレブリンカ強制収容所・マイダネク強制収容所・ベウジェツ強制収容所・ソビボル強制収容所などの収容所が次々と完成し、ゲットーや占領地域から多くのソ連兵捕虜・ユダヤ人が送り込まれた。

アウシュヴィッツ=ビルケナウ強制収容所には大規模な軍需工場が付置され、多くの付属収容所を従えた一大生産基地を形成していた。その他の多くの収容所は僻地に建設され、収容者数も多くなかった。
 
ラインハルト作戦と呼ばれるポーランド=ユダヤ人絶滅作戦に沿って作られた収容所では、ほぼ全員が直接ガス室に送り込まれたとされる。とくにトレブリンカ強制収容所の犠牲者は群を抜いて多く、およそ90万人がそこで殺されたという。