液浸露光方式が出てくる前に、光学露光ではもう限界だと言われていたので、
インテルはニコンと組んで、軟X線（EUV)による露光装置の開発研究に
着手したが、なかなかものにはならなかった。そのうち液浸露光方式が
開発されて、従来の光学露光システムをちょっとだけ改良すれば実効的な
波長を半減できるということになり、10年間ぐらいはEUVは停滞して
液浸露光システムが大々的に使われるようになった。もちろんニコンも
装置を作ったが、その頃にオランダの会社も液浸露光システムで台頭
してきた。そこで日本がもたついたりシェアを減らしてたし、会社が
事業に人や開発費用を十分割かなかったので、液浸ばかりが作られて
EUVについては日本は結局遅れをとってしまった。最も難点は、
EUVの十分な明るさを持った安定したEUVの光源をなかなか得ら
れなかったことで、これは単なる光学屋の知識だけでは解決できる
ものではなかったのだ。それで外国（オランダ）に抜かれたんだろう。