半導体製造装置世界シェア　（２０２１年）

露光装置　
1位　ASML（オランダ）　95%
2位　キヤノン　３％
3位　ニコン　２％

エッチング装置
1位　ラムサーチ（米）　４８％
2位　東京エレクトロン　３５％
3位　アプライドマテリアルズ（米）　１６％

成膜装置（CVD装置）
1位　アプライドマテリアルズ　３６％
2位　ラムサーチ　３１％
3位　東京エレクトロン　６％